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Recubridor de recubrimiento por pulverización catódica de iones de magnetrón al vacío para
Semiconductores y batería
Introducción
Magnetron Ion Sputtering Coater (Modelo SD900M) es ideal y está diseñado para la preparación de muestras SEM de laboratorio. Se usa ampliamente para recubrir muestras SEM no conductoras o sensibles al calor con Au para obtener mejores imágenes. También es excelente para el tratamiento de superficies y evita dañar la muestra del sustrato.
Imagen de muestra de resultado de recubrimiento bajo SEM (por modelo SD-900M) EPTFE (politetrafluoroetileno extendido)
Bajo vacío, se puede lograr rápidamente cuando se usa la bomba de vacío adecuada en 5 minutos. Genera mucho menos calor y evita el daño del plasma a la muestra de sustrato. Es fácil de usar y fácil de operar.
Se incluye bomba de vacío. El enfriador es opcional.
Parámetro
| Conjunto de bomba de vacío |
( Se requiere aceite ) bomba de vacío rotativa |
| Velocidad de bombeo rotativo _ |
50 Hz : 8 m³ / h ( 2 , 2 L/s)/ 60 Hz : 9, 6 m³ /h ( 2 , 6 L/s) |
| Límite de vacío |
2 Pa |
| Corriente máxima de pulverización |
100mA |
| Presión de trabajo |
20 Pa - 8 Pa |
| Pasando la aspiradora a mí |
<5 minutos ( 2 Pa) |
| Medida de vacío |
Rango de medición desde atmósfera hasta 2*10 -2 mbar |
| tamaño de la cámara |
Φ 15 0* 12 0 mm (altura) cristal de cuarzo resistente a los arañazos |
| Fuente objetivo de magnetrón _ |
Tamaño objetivo φ50*0,1 mm (Au) / t fuente objetivo: Au, Ag, Pt |
| M étodo de operación |
Manual de instrucciones |
| Peso / tamaño |
45 kg/ 36 0 mm largo x 30 0 mm ancho x 38 0 mm alto |
| Fuente de alimentación |
CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz |
| Consumo de energía |
< 15 00W |
| método de enfriamiento |
Refrigeración por agua (opcional) |
| Garantía |
Garantía limitada de un año con soporte de producto de por vida |
IPv6 compatible con la red 