Recubrimiento de evaporación térmica de pulverización catódica de magnetrón de laboratorio
Coater para Ciencias Geológicas y Película Delgada
Introducción
La unidad de pulverización catódica de iones de magnetrón y el recubridor de carbón de evaporación térmica son ideales y están diseñados para la preparación de muestras SEM de laboratorio. El modelo SD900C (Unidad de pulverización catódica de iones magnetrones) se usa ampliamente para recubrir muestras SEM no conductoras o sensibles al calor con Au para obtener mejores imágenes. También es excelente para el tratamiento de superficies y evita dañar la muestra del sustrato.
El recubridor de carbón modelo SD900C (Unidad de carbón de evaporación térmica) aplica una película delgada de carbón conductor sobre una superficie de muestra. La aplicación de este recubrimiento a una muestra no conductora es una técnica de preparación eficaz para disminuir los artefactos electrónicos de carga para el análisis en un SEM.
La presión de vacío de trabajo se puede lograr rápidamente cuando se usa la bomba de vacío adecuada en 5 minutos. Es fácil de usar y fácil de operar.
Se incluye bomba de vacío.
El enfriador es opcional. (para la unidad de pulverización catódica de iones de magnetrón)
Parámetro
Conjunto de bomba de vacío |
( Se requiere aceite ) bomba de vacío rotativa |
Velocidad de bombeo rotativo _ |
50 Hz : 8 m³ / h ( 2 , 2 L/s)/ 60 Hz : 9, 6 m³ /h ( 2 , 6 L/s) |
Límite de vacío |
2 Pa |
Corriente máxima de pulverización |
100mA |
Corriente máxima de evaporación
|
100A |
Presión de trabajo |
20 Pa - 8 Pa |
Pasandome la aspiradora |
<5 minutos ( 2 Pa) |
Medida de vacío |
Rango de medición desde atmósfera hasta 2*10 -2 mbar |
Control de gas |
Controlador de flujo de gas |
tamaño de la cámara |
Φ 15 0* 12 0 mm (altura) cristal de cuarzo resistente a los arañazos |
Fuente objetivo de magnetrón _ |
Tamaño objetivo φ 50* 0,1 mm( A u)/ fuente objetivo : Au,Ag,Pt |
Fuente diana de evaporación |
Material objetivo: cuerda de carbono / fuente objetivo: cuerda de carbono |
M étodo de operación |
Manual de instrucciones |
(2 uds) Peso / Tamaño |
55 kg/ 36 0 mm largo x 30 0 mm ancho x 38 0 mm alto |
Fuente de alimentación |
CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz |
Consumo de energía |
< 20 00W |
Método de enfriamiento |
Refrigeración por aire ( evaporación )+refrigeración por agua (pulverización) |
Garantía |
Garantía limitada de un año con soporte de producto de por vida |