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Recubrimiento de pulverización catódica de iones de magnetrón de alto vacío de CC o RF de laboratorio
recubridor
Introducción
El recubridor de pulverización iónica magnetrónica de alto vacío es ideal y está diseñado para la ciencia de los materiales y la preparación de muestras. Es ampliamente utilizado para la mayoría de las universidades e institutos de investigación científica de ciencia e ingeniería de materiales para recubrir metales, cerámicas, semiconductores, aisladores u otros tipos de preparación de materiales de membrana.
El recubridor de pulverización catódica de iones de magnetrón de alto vacío proporciona el entorno de pulverización catódica más estable y logra las condiciones experimentales básicas de la pulverización catódica de magnetrón en un período de tiempo muy corto. Proporciona dos tipos de opciones de potencia de pulverización de CC/RF que permiten la pulverización de sustancias conductoras o no conductoras en la muestra y mejora el rendimiento de la deposición física de vapor (PVD). También es excelente para el tratamiento y recubrimiento de superficies. Es fácil de operar y fácil de usar también.
La bomba de vacío y el enfriador están incluidos.
Parámetro
| Conjunto de bomba de vacío |
( Se requiere aceite ) bomba de vacío rotativa + ( sin aceite ) conjunto de bomba turbomolecular |
| Velocidad de bombeo rotativo _ |
50 Hz: 16 m³ / h (4,4 L/s)/ 60 Hz: 19,2 m³ /h (5,2 L/s) |
| Velocidad de bombeo molecular _ |
300 L/ s |
| Límite de vacío |
5x10 -5 Pa |
| Presión de trabajo |
0,5-5 Pa |
| Pasandome la aspiradora |
>10 minutos (10 -3 Pa) |
| Medida de vacío |
Rango de medición desde atmósfera hasta 1*10 Pa |
| Control de gas |
Controlador de flujo de gas |
| tamaño de la cámara |
φ260 *200mm (altura) metal |
| Fuente objetivo de magnetrón _ |
Tamaño del objetivo φ 50*3 mm (Cu)/ fuente del objetivo : sustancia / m ateriales magnéticos débiles |
| M étodo de operación |
Manual de instrucciones |
| Peso / tamaño |
100 kg/610 mm de largo x 420 mm de ancho x 490 mm de alto |
| Fuente de alimentación |
CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz |
| Consumo de energía |
<3000W |
| Método de enfriamiento |
Refrigeración por aire ( bomba ) + refrigeración por agua ( objetivo de pulverización ) |
| Garantía |
Garantía limitada de un año con soporte de producto de por vida |
IPv6 compatible con la red 