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Horno de cuarzo al vacío Lab PECVD con elemento calefactor de alambre de resistencia
La introducción del equipo: Este equipo ioniza un gas que contiene un átomo que forma una película por medio de radiofrecuencia, etc., y forma un plasma localmente. El plasma es químicamente activo y reacciona fácilmente, y se deposita una película deseada sobre el sustrato. Para permitir que la reacción química proceda a una temperatura más baja, la actividad del plasma se utiliza para promover la reacción y, por lo tanto, la CVD se denomina deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD).
Descripción del producto: Este equipo es un sistema PECVD de zona de temperatura única fija, que incluye horno tubular de zona de temperatura única D 6 0x1 0 00L mm , fuente de alimentación de RF de plasma de 500 W, sistema de suministro de aire de flujo másico de 3 canales y unidad de vacío.
Los principales componentes del sistema y características:
El equipo se compone principalmente de un cuerpo de horno de calentamiento tubular, un sistema de vacío, un sistema de suministro de gas de flujo de protones, una fuente de plasma de radiofrecuencia, una cámara de reacción de cuarzo y similares.
Característica principal :
1. El gas en la cámara de vacío de cuarzo cambia a un estado iónico mediante una fuente de energía de radiofrecuencia.
2. La temperatura requerida por PECVD para realizar la deposición química de vapor es más baja que la de CVD ordinaria.
3. La tensión de la película depositada se puede controlar mediante la frecuencia de la fuente de alimentación de RF.
4. PECVD tiene una mayor tasa de deposición de vapor químico, uniformidad, consistencia y estabilidad que el CVD ordinario.
5 .Ampliamente utilizado: el equipo puede depositar SiOx, SiNx, silicio amorfo, silicio microcristalino, nanosilicio, SiC, películas similares al diamante y otras películas en la superficie de láminas o muestras con formas similares, y puede depositar películas de tipo p, n- tipo de dopaje Película miscelánea. La película depositada tiene buena uniformidad, compacidad, adherencia y aislamiento. Ampliamente utilizado en herramientas de corte, moldes de alta precisión, revestimientos duros, decoración de alta gama y otros campos.
| Parámetros técnicos de PECVD |
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Temperatura máx .: |
1 2 00C |
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| Temperatura de trabajo : |
≤1 1 00C |
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| Material del tubo : |
tubo de cuarzo |
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| Tamaño del tubo : |
Diámetro : 6 0 mm, longitud de la zona de calentamiento : 30 0 mm |
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| Voltaje : |
220V/50HZ / 3KW |
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| Elemento calefactor : |
Alambre de resistencia |
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| Termopar : |
tipo k |
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| Precisión de temperatura : |
±1℃ |
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| Tasa de calentamiento : |
≤ 1 0 ℃/min |
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| Control de temperatura : |
Control PID y ajuste de autosintonía, control inteligente programable de 30 segmentos, con función de alarma de sobrecalentamiento y ruptura |
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| Diseño de brida SS |
Reserve orificios para cables de 1-1,5 mm en ambas bridas |
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flujo de protonester |
1. Cuatro estaciones de mezcla de gas con control de flujo másico (MFC) 2. Equipado internamente con medidor de flujo másico de pantalla digital de alta precisión para un control preciso del flujo de gas
3. El rango de flujo de gas es 0-500SCCm con un error de 0.02%
4. Manómetro de vacío de salida, sistema de mezcla de gas incorporado,
5. Medidor de válvula de aguja de acero inoxidable, junta de doble férula estándar |
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Fuente de alimentación de RF de plasma |
Potencia de salida: 5-500W ±1°C Frecuencia de radiofrecuencia : 13,56 MHz ± 0,005 % Potencia reflejada: hasta 100W Partido: Automático Interfaz RF: 50Ω, tipo N Refrigeración: refrigeración por aire fuente de alimentación : CA 208-240V, 50/60HZ |
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Sistema de vacío |
Conjunto de bomba molecular de alto vacío: unidad de bomba de difusión Grado de vacío hasta: 1mTorr (0,1 Pa ) Conexión rápida KF25, fuelles de acero inoxidable, válvula de charnela manual y brida, bomba de vacío |
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| Garantía |
Período de garantía de un año, mantenimiento de por vida (excluyendo consumibles relacionados, como tubos de horno, sellos, etc.) |
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| Certificados: CE , ISO y UL |
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| Accesorios del paquete estándar: |
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| Horno eléctrico |
1 juego |
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| guantes de alta temperatura |
1 par |
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| Gancho del crisol |
1 PC |
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| Brida de acero inoxidable |
1 juego |
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| tapón de tubo |
2 piezas |
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| Manual de usuario |
1 libro |
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| Bomba aspiradora |
1 juego |
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